Kompetenzzentrum Nanosystemtechnik

Lithographie:

  • Mask Aligner MA6
  • Mask Aligner MJB4 für nichtplanare Objekte
  • Spin-Coater
  • Profilometer
  • Lichtmikroskop
  • Ellipsometer
  • REM mit FIB
  • Ofen
  • Nassbank